3D微鉆孔
紫外激光器在大面積結構和三維微加工應用中均表現(xiàn)不俗。借助適合的光束和掃描系統(tǒng)技術,激光器可以在目標工件上加工出邊沿清晰、紋理均勻一致的效果;同時,客戶能夠精確控制單個脈沖所能清除的材料的量,確保材料加工的高分辨率及高光潔度。在重復頻率為400 Hz(高脈沖能量準分子激光器)時,典型清除速度為0.05-1.5 μm/脈沖。如果是重復單一圖案,激光光刻本身也可以包含一排圖案陣列。如果能進一步配合激光光刻和工件的移動,還可以創(chuàng)建更為大型和復雜的圖案。
1. 用紫外線光纖激光器光刻系統(tǒng)統(tǒng)進行圓形圖案微銑削
用圓形激光光刻,在目標工件上的成像為激光光刻的一半,然后將工作臺設置為圓形移動,這樣就可以形成所需的圓形圖案。
2. 用紫外線激光器加工微流通道
繁復的激光光刻成像技術的問世,使更為復雜的形貌加工成為可能。使用高分辨率激光光刻,可以在較大面積范圍內同時生成具有多重特點的復雜圖案。
3. 帶有凸起陣型的微銑削
下面為一個帶有凸凹特點的復雜圖案,這種微加工對于容差有相當高的要求。由于多數(shù)材料都會強烈吸收紫外線,再加上設計精密的成像系統(tǒng)及高精度移動控制,可確保得到平穩(wěn)的、均勻的、雕刻性的圖案,重復性達到亞微米級。
4. 復雜的3D圖案
是另一個利用IPG成像系統(tǒng)實現(xiàn)的具有復雜幾何特性的示例。IPG成像系統(tǒng)可實現(xiàn)在極小的面積范圍內清除大量材料,同時實現(xiàn)對容差及深度的精確控制。上海
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微鉆孔
微鉆孔應用包括通孔和盲孔,而且不同的應用需求可能需要的垂直側壁或是錐形側壁。孔徑可以小至2 μm,排列精確度達到亞微米級。鉆孔速率最大達1,000孔/秒。
從熱影響到激光耦合,每種材料總是會面臨這樣或那樣的挑戰(zhàn)。IPG系列激光器及光束傳輸技術,使客戶能夠根據不同應用的需求進行系統(tǒng)優(yōu)化,實現(xiàn)生產的速度化及自動化。
在激光鉆孔應用中,人們對于形狀多樣化和小孔徑鉆孔(<100 μm)的需求正在逐步增加,這種新的需求熱點要求錐形角度可控,直至0°,同時還要能夠覆蓋多種材料類型,以及多種材料厚度,甚至達到數(shù)毫米。另外,人們對質量和產能的要求也在進一步提高,尺寸和定位容差更小。這就需要我們改進生產工藝,使用更高級的過程控制系統(tǒng)及激光源,以滿足不斷提升的的行業(yè)要求。
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